Библиотека ГОСТов - главная

ГОСТ 19658-81

Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия

действующий Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник

Текст ГОСТ 19658-81


С поправками и изменениями:
Изменение №1 к ГОСТ 19658-81 от 01.01.1988 (текст интегрирован в текст или описание стандарта)
Изменение №2 к ГОСТ 19658-81 от 01.01.1993 (текст интегрирован в текст или описание стандарта)

Другие ГОСТы

ГОСТ 14033-2015 Крекер. Общие технические условия
ГОСТ 24392-80 Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом
ГОСТ 19014.1-73 Кремний кристаллический. Методы определения алюминия
ГОСТ 19014.2-73 Кремний кристаллический. Методы определения железа
ГОСТ 19014.3-73 Кремний кристаллический. Методы определения кальция
ГОСТ 19014.4-73 Кремний кристаллический. Методы определения титана
ГОСТ 19014.0-73 Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа
ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие01.01.1983
ВзаменГОСТ 19658-74
Дата издания01.04.2001

Скачать ГОСТы - главная