ГОСТ 25196-82

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

действующий Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники

Текст ГОСТ 25196-82



Другие ГОСТы

ГОСТ Р 54107-2010 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного давления
ГОСТ Р 53334-2009 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки)
ГОСТ Р 54108-2010 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений
ГОСТ Р 52856-2007 Оборудование вакуумное. Размеры фланцев
ГОСТ 25198-82 Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры
ГОСТ 26526-85 Оборудование вакуумное. Соединения фланцевые для сверхвысоковакуумных систем. Конструкция, размеры и технические требования
ГОСТ Р 52715-2007 Оборудование вакуумное. Соединительные части трубопровода. Установочные размеры
ГОСТ Р 55219-2012 Оборудование газовое нагревательное для предприятий общественного питания. Часть 2-10. Специальные требования. Грили лавовые
ГОСТ Р 55213-2012 Оборудование газовое нагревательное для предприятий общественного питания. Часть 2-1. Специальные требования. Горелки с открытым пламенем и рабочие горелки
ГОСТ Р 55211-2012 Оборудование газовое нагревательное для предприятий общественного питания. Часть 1. Требования безопасности и методы испытаний
ГОСТ 24751-81 Оборудование воздухотехническое. Номинальные размеры поперечных сечений присоединений
ГОСТ 3849-78 Оборудование вертикальных цилиндрических резервуаров для нефтепродуктов. Шарниры чугунные для подъемной трубы. Технические условия
ГОСТ 24935-81 Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры
ГОСТ 24934-81 Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	30.06.1983
Дата издания	04.05.1982