ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

действующий Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов

Текст ГОСТ 5.2105-73



Другие ГОСТы

ГОСТ Р 50190-92 Микрометры со вставками. Технические условия
ГОСТ 6507-90 Микрометры. Технические условия
ГОСТ 20281-74 Микромодули этажерочной конструкции. Методы измерения электрических параметров
ГОСТ 27381-87 Микропереключатели и микровыключатели. Общие технические условия
ГОСТ 28111-89 Микросборки на цилиндрических магнитных доменах. Термины и определения
ГОСТ 26975-86 Микросборки. Термины и определения
ГОСТ Р 57342-2016 Микросваи. Правила производства работ
ГОСТ Р 57963-2017 Микросферы стеклянные полые. Метод определения прочности при сжатии
ГОСТ Р 57962-2017 Микросферы стеклянные полые. Метод определения плотности
ГОСТ Р 57961-2017 Микросферы стеклянные полые. Метод определения коэффициента заполнения объема и плавучести
ГОСТ 3469-91 Микроскопы. Резьба для объективов. Размеры
ГОСТ 21006-75 Микроскопы электронные. Термины, определения и буквенные обозначения
ГОСТ 28489-90 Микроскопы световые. Термины и определения
ГОСТ 8074-82 Микроскопы инструментальные. Типы, основные параметры и размеры. Технические требования

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.09.1973
Дата издания	04.10.1973