ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

действующий Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок

Текст ГОСТ Р 8.640-2008



Другие ГОСТы

ГОСТ Р 8.865-2013 Государственная система обеспечения единства измерений. Пространственное распределение спектральной плотности энергетической яркости удаленных объектов. Методика измерений
ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
ГОСТ 8.496-83 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиационная безопасность. Коэффициент качества ионизирующих излучений
ГОСТ 8.526-85 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры естественных радиоактивных аэрозолей. Методика поверки
ГОСТ 8.041-84 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры загрязненности поверхностей альфа-активными веществами. Методика поверки
ГОСТ 8.040-84 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры загрязненности поверхностей бета-активными веществами. Методика поверки
ГОСТ 8.355-79 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры нейтронов. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.611-2013 Государственная система обеспечения единства измерений. Расход и количество газа. Методика (метод) измерений с помощью ультразвуковых преобразователей расхода
ГОСТ 8.361-79 Государственная система обеспечения единства измерений. Расход жидкости и газа. Методика выполнения измерений по скорости в одной точке сечения трубы
ГОСТ 8.464-82 Государственная система обеспечения единства измерений. Расход газа массовый. Расчетные зависимости косвенных методов измерений
ГОСТ 8.439-81 Государственная система обеспечения единства измерений. Расход воды в напорных трубопроводах. Методика выполнения измерений методом площадь-скорость
ГОСТ Р 8.698-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Размерные параметры наночастиц и тонких пленок. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра
ГОСТ Р 8.723-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений энергетической яркости с высоким пространственным разрешением в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика поверки
ГОСТ Р 8.588-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для озонного мониторинга. Методика поверки

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.01.2009
Дата издания	15.05.2008