ГОСТ Р 8.716-2010

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

действующий Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения. ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99. В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур

Текст ГОСТ Р 8.716-2010



Другие ГОСТы

ГОСТ 8.320-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Расходомеры электромагнитные. Методы и средства поверки
ГОСТ Р 8.996-2020 Государственная система обеспечения единства измерений. Резервуары стальные вертикальные цилиндрические. Методика калибровки электронно-оптическим методом
ГОСТ 8.570-2000 Государственная система обеспечения единства измерений. Резервуары стальные вертикальные цилиндрические. Методика поверки
ГОСТ Р 8.994-2020 Государственная система обеспечения единства измерений. Резервуары стальные горизонтальные цилиндрические. Методика калибровки электронно-оптическим методом
ГОСТ 8.346-2000 Государственная система обеспечения единства измерений. Резервуары стальные горизонтальные цилиндрические. Методика поверки
ГОСТ 8.346-79 Государственная система обеспечения единства измерений. Резервуары стальные горизонтальные. Методы и средства поверки
ГОСТ Р 8.643-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки
ГОСТ Р 8.888-2015 Государственная система обеспечения единства измерений. Светодиоды эталонные некогерентного излучения. Технические требования
ГОСТ 8.332-2013 Государственная система обеспечения единства измерений. Световые измерения. Значения относительной спектральной световой эффективности монохроматического излучения для дневного зрения. Общие положения
ГОСТ 8.332-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Световые измерения. Значения относительной спектральной световой эффективности монохроматического излучения для дневного зрения
ГОСТ 8.122-85 Государственная система обеспечения единства измерений. Ротаметры. Методика поверки
ГОСТ 8.122-99 Государственная система обеспечения единства измерений. Ротаметры. Методика поверки
ГОСТ 8.634-2013 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефрактометры интерференционные газоаналитические. Методика поверки
ГОСТ Р 8.730-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефрактометры интерференционные газоаналитические. Методика поверки

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.01.2012
Дата издания	11.07.2019