ГОСТ Р 71994-2025

Системы подготовки воды для электронной промышленности

действующий Настоящий стандарт распространяется на системы получения и распределения ультрачистой (деионизованной) воды для производства изделий электронной техники. Настоящий стандарт содержит требования к ультрачистой воде. Классификация воды по качеству введена в зависимости от топологии технологического процесса производства микросхем. В настоящем стандарте установлены требования к системам получения и распределения ультрачистой воды. Требования стандарта распространяются на проектирование, монтаж, ввод в эксплуатацию, испытания, эксплуатацию и техническое обслуживание систем подготовки ультрачистой воды

Текст ГОСТ Р 71994-2025

Другие ГОСТы

ГОСТ 18146-72 Системы передачи данных. Цепи и параметры обмена на стыке С3 при параллельном вводе-выводе дискретной информации
ГОСТ 34701-2020 Системы передачи извещений о пожаре. Общие технические требования. Методы испытаний
ГОСТ Р 71554-2024 Системы передачи извещений о пожаре. Руководство по проектированию, монтажу, техническому обслуживанию и ремонту. Методы испытаний на работоспособность
ГОСТ Р 56778-2015 Системы передачи тепла для отопления помещений. Методика расчета энергопотребления и эффективности
ГОСТ 15586-93 Системы пневматические летательных аппаратов. Номинальные, рабочие и испытательные давления
ГОСТ Р 50129-92 Системы пневматические летательных аппаратов. Номинальные, рабочие и испытательные давления
ГОСТ Р ИСО 10083-2011 Системы подачи с концентраторами кислорода для использования в трубопроводных системах медицинских газов
ГОСТ Р МЭК 60960-2021 Системы представления параметров безопасности атомных станций. Функциональные требования
ГОСТ Р 59030-2020 Системы постоянного тока высокого напряжения. Виды и методы испытаний
ГОСТ Р 59638-2021 Системы пожарной сигнализации. Руководство по проектированию, монтажу, техническому обслуживанию и ремонту. Методы испытаний на работоспособность
ГОСТ Р 71671-2024 Системы поддержки принятия врачебных решений с применением искусственного интеллекта. Основные положения
ГОСТ Р 72313-2025 Системы поддержки принятия врачебных решений с применением искусственного интеллекта для извлечения данных из неструктурированных медицинских записей. Методы формирования набора данных для обучения и тестирования. Метрики оценки качества
ГОСТ Р 72357-2025 Системы поддержки принятия врачебных решений с применением искусственного интеллекта для анализа данных в лекарственной терапии. Методы формирования набора данных для обучения и тестирования. Метрики оценки качества
ГОСТ Р 71172-2023 Системы подготовки воды фармацевтического применения. Требования к получению, хранению и распределению воды очищенной и воды для инъекций

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.11.2025
Дата издания	31.03.2025