ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

действующий Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Текст ГОСТ 8.592-2009



Другие ГОСТы

ГОСТ 8.234-77 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры вместимости стеклянные. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.367-79 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины концевые плоскопараллельные образцовые 1 и 2-го разрядов и рабочие классов точности 00 и 0 длиной до 1000 мм. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.307-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины концевые плоскопаралльные образцовые 3,4, 5 ГО разрядов и рабочие классы точности 1 -5 длиной от 125 до 1000 мм. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.353-79 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины штриховые образцовые 1-ГО разряда и рабочие класса точности 0 длиной до 1 м. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.353-96 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины штриховые эталонные 1-го разряда (образцовые) и рабочие класса точности 0 длиной до 1 м. Методика поверки
ГОСТ 8.171-75 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры поверхностной плотности для радиоизотопных толщиномеров. Общие технические условия
ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ 8.441-81 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры частоты и времени высокой точности. Методы и средства поверки
ГОСТ Р 8.977-2019 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры твердости эталонные. Методика поверки
ГОСТ 8.335-2004 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры твердости эталонные. Методика поверки
ГОСТ 8.335-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры твердости образцовые. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.11.2010
Дата издания	06.12.2019