ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

действующий Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Текст ГОСТ Р 8.628-2007

 С поправками и изменениями:
Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007 от 01.04.2011

Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007 от 01.04.2011

Другие ГОСТы

ГОСТ 8.234-2013 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры вместимости стеклянные. Методика поверки
ГОСТ 8.234-77 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры вместимости стеклянные. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.367-79 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины концевые плоскопараллельные образцовые 1 и 2-го разрядов и рабочие классов точности 00 и 0 длиной до 1000 мм. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.307-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины концевые плоскопаралльные образцовые 3,4, 5 ГО разрядов и рабочие классы точности 1 -5 длиной от 125 до 1000 мм. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.353-79 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины штриховые образцовые 1-ГО разряда и рабочие класса точности 0 длиной до 1 м. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.353-96 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины штриховые эталонные 1-го разряда (образцовые) и рабочие класса точности 0 длиной до 1 м. Методика поверки
ГОСТ 8.171-75 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры поверхностной плотности для радиоизотопных толщиномеров. Общие технические условия
ГОСТ Р 8.977-2019 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры твердости эталонные. Методика поверки
ГОСТ 8.335-2004 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры твердости эталонные. Методика поверки
ГОСТ 8.335-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры твердости образцовые. Методы и средства поверки
ГОСТ 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.02.2008
Дата издания	10.02.2011