ГОСТ 19658-81
Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
действующий Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
Текст ГОСТ 19658-81
Изменение №1 к ГОСТ 19658-81 от 01.01.1988 (текст интегрирован в текст или описание стандарта)
Изменение №2 к ГОСТ 19658-81 от 01.01.1993 (текст интегрирован в текст или описание стандарта)
Другие ГОСТы
ГОСТ 14033-2015 Крекер. Общие технические условияГОСТ 24392-80 Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом
ГОСТ 19014.1-73 Кремний кристаллический. Методы определения алюминия
ГОСТ 19014.2-73 Кремний кристаллический. Методы определения железа
ГОСТ 19014.3-73 Кремний кристаллический. Методы определения кальция
ГОСТ 19014.4-73 Кремний кристаллический. Методы определения титана
ГОСТ 19014.0-73 Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа
ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Дополнительная информация
Английское название | |
Введен в действие | 01.01.1983 |
Взамен | ГОСТ 19658-74 |
Дата издания | 01.04.2001 |