ГОСТ Р 71645-2024

Кремний полупроводниковый. Метод измерения концентрации примесей

принят Настоящий стандарт распространяется на вновь разрабатываемый и модернизируемый полупроводниковый кремний и устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод измерения концентрации примесей с возбуждением спектров разрядов с горячим полым катодом. Интервалы определяемых значений концентрации примесей приведены в приложении А. Стандарт следует применять для выбора параметров при разработке технических заданий (ТЗ) на научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, программ испытаний (ПИ), опытных образцов, стандартов на методы измерений, номенклатуру показателей системы показателей качества и технического уровня полупроводникового кремния

Текст ГОСТ Р 71645-2024

Другие ГОСТы

ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
ГОСТ Р 54786-2011 Крепежные изделия для разъемных соединений атомных энергетических установок. Технические условия
ГОСТ 31460-2012 Кремы косметические. Общие технические условия
ГОСТ 29189-91 Кремы косметические. Общие технические условия
ГОСТ Р 52343-2005 Кремы косметические. Общие технические условия
ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана
ГОСТ 2169-69 Кремний технический. Технические условия
ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.03.2025
Дата издания	09.10.2024