ГОСТ 26239.5-84

Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей

действующий Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце. Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01

Текст ГОСТ 26239.5-84

 С поправками и изменениями:
Изменение №1 к ГОСТ 26239.5-84 от 01.01.1991 (текст интегрирован в текст или описание стандарта)

Другие ГОСТы

ГОСТ 19014.1-73 Кремний кристаллический. Методы определения алюминия
ГОСТ 19014.2-73 Кремний кристаллический. Методы определения железа
ГОСТ 19014.3-73 Кремний кристаллический. Методы определения кальция
ГОСТ 19014.4-73 Кремний кристаллический. Методы определения титана
ГОСТ 19014.0-73 Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа
ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана
ГОСТ 2169-69 Кремний технический. Технические условия
ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей

Дополнительная информация

Английское название
Введен в действие	01.01.1986
Дата издания	21.01.1985